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第338章 EUV光刻機研發先獎5000萬鄧小岩感動了(第1頁)

科研,如逆水行舟,不進則退。

70納米光刻機研發成功,難道陳皓心裡不高興嗎?

當然高興。

但他心裡很清楚,這點領先遠遠不夠。

他要的是……

碾壓!

讓歐美絕望的碾壓!

另一邊,聽到陳皓這麼說,衆人神情一滞。

第二輪研發?

“浸潤式光刻機極限是多少納米?”陳皓看向衆人。

“45納米?”

“我覺得能到30納米左右。”

一群科學家七嘴八舌。

對他們而言,更高精度沒深入研究,主要靠自身認知推測,給不了準确答案。

“大膽一點!”

陳皓一字一頓道:“一旦解決光源問題,加上更多細節提升,極限能達到7納米!”

嘩!

此話一出,衆人皆驚。

要知道,他們剛研發出來的,精度隻有70納米而已。

7納米光刻機!

提高多少?

簡直是駭人聽聞!

當然,用同樣的浸潤式技術,想達到7納米極限精度,會有一個漫長過程。

“校長。”陳皓沉聲喊道。

“到!”

謝武立刻上前。

其他場合,他稱呼陳皓為小陳,但在今天這場合……

陳皓如将軍。

他為士兵。

士兵必須聽命于将軍——軍令如山!

“由你牽頭組建團隊,對浸潤式光刻機深度研發,開發深紫外光技術。”陳皓下達指令。

經過第一輪研發,浸潤式技術已經成熟。

提高精度的核心是光源。

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